眾所周知，離子滲氮工藝對爐體內壓強的控制要求比較高，因此本文設計了一種基于L298N芯片驅動直流電動機控制的氣體流量控制器，可用于控制反應爐的抽氣氣體流量。那么我們先來了解離子滲氮理論吧：

1.離子滲氮理論

滲氮是強化金屬表面的一種化學熱處理方法，他是將金屬零件置于活性氮的介質中，在一定溫度和保溫時間下，使氮元素滲入金屬表層，從而改變金屬層的化學成份，使之具有高的耐磨性、疲勞強度、抗蝕能力及抗燒傷性等，因而在工業上獲得廣泛應用。

離子滲氮是在低溫等離子中進行的，低氣壓氣體在電場作用下使之電離，產生高能離子和高能中性原子，這些高能粒子可以改善滲層組織結構和促進化學反應過程，加速滲氮層的形成。離子滲氮是在輝光放電中進行，在離子滲氮過程中對爐體的壓強控制精度要求比較高，控制偏差幾十帕。根據帕邢定律：

其中：P為氣體壓強;

d為平行板電極間距離;

V為陰極二次電子發射系數;

B為斯托列夫常數;

A是常數。

對式(1)求導，可得出擊穿電壓表達式(2)：

由式(2)可知，擊穿電壓V與氣體壓強和d有關，而一般實驗中d是固定不變，因此離子滲氮對壓強控制極為重要。

2.系統流量與壓強測控框圖

流量計控制進氣口的氣體流量，當進氣和抽氣流量平衡時，爐體壓強保持穩定。由于爐體氣體泄露及其他干擾因素的影響，爐體壓強上下波動，系統偏離平衡態，嚴重時影響等離子工藝處理。我們采用普通直流電動機，通過L298N驅動直流電動機，由電動機通過減速桿帶動錐體轉動。當錐體旋進時，抽氣機單位時間內抽出氣體減少;旋出時，抽出氣體增多，從而使爐體內的壓強穩定在所需的值。爐體壓強的變化通過壓強傳感器測出并通過變送器，將氣體流量控制器送至反饋電壓。抽氣口采用電動真空蝶閥價格昂貴，如圖1所示。

圖1 系統流量與壓強測控框圖

3.L298N芯片介紹

L298N可接受標準TTL邏輯電平信號VSS，VSS可接4.5～7V電壓。4腳VS接電源電壓，VS電壓范圍VIH為+2.5～46V。輸出電流可達2.5A，可驅動電感性負載。1腳和15腳下管的發射極分別單獨引出以便接入電流采樣電阻，形成電流傳感信號。L298可驅動2個電動機，OUT1，OUT2和OUT3，OUT4之間可分別接電動機，本實驗裝置我們選用驅動一臺電動機。5，7，10，12腳接輸入控制電平，控制電機的正反轉。EnA，EnB接控制使能端，控制電機的停轉。圖2是L298N內部功能模塊，表1是L298N功能邏輯圖。

圖2 L298N內部功能模塊

In3，In4的邏輯圖與表1相同。由表1可知EnA為低電平時，輸入電平對電機控制起作用，當EnA為高電平，輸入電平為一高一低，電機正或反轉。同為低電平電機停止，同為高電平電機剎停。

4.控制器原理

圖3是控制器原理圖，由3個虛線框圖組成：

圖3 控制器原理圖

下面是3個虛線框圖功能：

(1)虛線框圖1控制電機正反轉，U1A，U2A是比較器，VI來自爐體壓強傳感器的電壓。當VI》VRBF1時，U1A輸出高電平，U2A輸出高電平經反相器變為低電平，電機正轉。同理VI《VRBF1時，電機反轉。電機正反轉可控制抽氣機抽出氣體的流量，從而改變爐體壓強。

(2)虛線框圖2中，U3A，U4A兩個比較器組成雙限比較器，當VB《VI《VA時輸出低電平，當VI》VA，VI《VB時輸出高電平。VA，VB是由爐體壓強轉感器轉換電壓的上下限，即反應爐體壓強控制范圍。根據工藝要求，我們可自行規定VA，VB的值，只要爐體壓強在VA，VB所確定范圍之間電機停轉(注意VB《VRBF1《VA，如果不在這個范圍內，系統不穩定)。

(3)虛線框圖3是一個長延時電路。U5A是一個比較器，Rs1是采樣電阻，VRBF2是電機過流電壓。Rs1上電壓大于VREF2，電機過流，U5A輸出低電平。由上面可知，框圖1控制電機正反轉，框圖2控制爐體壓強的紋波大小。當爐體壓強太小或太大時，電動機轉到兩端固定位置停止，根據直流電機穩態運行方程：

其中：Ф為電機每極磁通量;

Ce為電動勢常數;

N為電機轉數;

Ia為電樞電流;

Ra電樞回路電阻。

電機轉數N為0，電機的電流急劇增加，時間過長將會使電機燒壞。但電機起動時，電機中線圈中的電流也急劇變大，因此我們必須把這兩種狀態分開。長延時電路可把這兩種狀態區分出來。長延時電路工作原理：當Rs1過流U5A產生一個負脈沖經過微分后，脈沖觸發555的2腳，電路置位，3腳輸出高電平，由于放電端7腳開路，C1，R5及U6A組成積分器開始積分，電容C1上的充電電壓線性上升，延時運放積分常數為100R5C1。當C1上充電電壓，即6腳電壓超過2/3VCC，555電路復位，輸出低電平。電機啟動時間一般小于0.8s，C1充電時間一般為0.8～1s。U5A輸出電平與555的3腳輸出電平經U7相或，如果U5A輸出低電平大于C1充電時間，U7在C1充電后輸出低電平由與門U8輸入到L298N的6腳ENA端使電機停止。如果U5A的輸出電平小于C1充電時間，6腳不動作電機的正常啟動。長延時電路吸收電機啟動過流電壓波形，從而使電機正常啟動。

小結

本文總結了基于L298N芯片對離子滲氮中壓強的控制設計方案，經證明采用此控制器控制氣體流量，可降低生產成本，提高系統性價比，改善整個系統控制的控制動態性能和穩定性能。
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